Objeto
Suministro, instalación y puesta en marcha de un sistema ICP-RIE (Inductively Coupled Plasma - Reactive Ion Etching) para el ataque seco por plasma de diversos materiales destinado al Instituto de Micro y Nanotecnología de la Agencia Estatal Consejo Superior de Investigaciones Científicas.
LOTE 1: Equipo ICP-RIE para el ataque seco por plasma de diversos materiales.
Clasificadores
Maquinaria y aparatos microelectrónicos
Equipo electromecánico
Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Financiacion
Asociado al Plan de Recuperación, Transformación y Resiliencia